当ffu静压箱的负压值大于或等于20pa时,ffu过滤器的使用寿命小于2年。因此,ffu净化单元,仅考虑ffu的使用寿命,作者认为静压箱的负压值控制在20pa或---的范围内。当负压值在此范围内时,可以认为ffu的使用寿---论上可以达到正常值(在国内洁净室空调系统的设计中,具有初,中,的系统)过滤器配置,使用寿命仅为1?3年),因此笔者认为此时的负压值是合理的。干燥线圈是导致ffu静压箱负压(相对于室外非清洁区域)的主要因素,ffu净化单元设备,负压值决定了ffu过滤器和干燥线圈区域的使用寿命。通过上述分析,ffu静压罐的负压值需要控制在20pa或---的范围内。此时,在ffu过滤器的使用寿命下,ffu净化单元维护,干燥线圈面积小。
ffu风机过滤器机组可模块化连接使用,使得ffu风机过滤器机组广泛应用于洁净室、洁净工作台、洁净生产线、组装式洁净室和层流罩等应用场合。
ffu风机过滤器机组设有初、---两级过滤网。风机从风机过滤器机组顶部将空气吸入并经初、---过滤器过滤。
---适合于组装成超净生产线,可根据工艺需要布置为单台使用,也可将多台串联形成100级流水装配线。
ffu风机过滤器机组采用外转子离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可无级调速等特性。适用于各种环境中获得更高ji别的洁净环境。
我们来看下面的一个具体例子。一个项目使用mau ffu dc系统。表1列出了一个房间的参数,房间空调的布局如图2所示。显然,如果符合规格,ffu上部静压罐不应该是相对于室外的负压,并且还应---正压力不低于10pa。假设洁净室为15pa(相对于室外非洁净区域)。如果要---静压罐为10pa(相对于室外),则回风干燥盘管,回风夹具和地面格栅的风压损失总和必须小于等于5pa。如果不首先考虑回风通道和接地网损耗,则只计算干线圈电阻损失为5pa(计算方法见本文第2节),迎面风速约为0.34kg /(m2) .s)。风速,如果选择干燥线圈,百级ffu净化单元,则需要至少13个相同类型的干燥线圈,这是原始设计的三倍以上。为了---如此小的压力损失,还必须---增加地面格栅的面积(有效返回空气)和返回空气管道的面积。
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